快科技7月8日消息，据媒体报道，今日，2025年度国家科学技术奖正式揭晓，由同济大学牵头完成的“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目荣获国家科学技术进步奖一等奖。
该项目由同济大学、上海御微半导体技术有限公司、中国计量科学研究院、桂林电子科技大学，上海市计量测试技术研究院有限公司合作完成。
历经20余年攻关，项目团队制造出一系列纳米级长度和角度国家一级标准物质，为集成电路等纳米制造领域提供了用于仪器校准与标定的“精准标尺”。
据了解，计量是测量的科学及应用，只有测得出才能造得出，只有测得准才能造得精。
而纳米计量是实现纳米制造准确性的前提和保障，项目团队抓住国际单位制（SI）量子化变革的机遇，发明了量子化光晶格常数的纳米计量技术，缩短了纳米计量传递链，提升了扁平化水平，更适用于解决产业应用问题。
目前，项目团队创建了量子化光晶格物化为直接溯源光栅标准（纳米标尺）的超稳制造技术和装置，系列光栅获批5项国家一级标准物质。
纳米长度标准物质的三年长期稳定性、样品间一致性均达到皮米量级（0.001纳米）水平，还首次建立了我国纳米尺度下的角度标准物质。
而精准的“纳米标尺”可为集成电路等先进纳米制造的校准与标定提供有力支撑。
此外，围绕这把“标尺”，一个*产业计量平台也在逐步形成。
2024年1月，经国家市场监督管理总局批准，以同济大学为主体的“国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）”正式启动筹建。
其成为全国集成电路领域首批获批筹建的*产业计量测试中心之一，研究团队也因此获评首批“*计量创新团队”。
